一、洁净室的原理

从洁净室如何满足工艺使用要求来看，当以实现“洁净空间”为首要目标。为建立和维持该空间的洁净水平，应该按四个基本原则进行工程的设计。施工和运行管理。

1、防止微尘直接侵入室内，可通过以下途径来解决：

（1）室内维持正压，防止洁净度比该洁净室低的周围空气直接渗入。

（2）经高效过滤后的空气，不得被送风口等在污染，同时注意高效过滤器与安装的的密封设施，以免未经高效过滤的空气渗漏入室。

（3）应防止操作人员、工艺设备等进入洁净室时带入灰尘，故需经过人、物净化设施。

2、防止微粒堆积，应注意：

（1）室内建筑内表面不应由凸出物和勾缝，以免堆积尘埃。

（2）设备、管路、家具等应易于清扫。

（3）设置真空清扫系统或真空扫除机，定期清扫。

3、尽量防止微粒的发生这可由一下途径来打到:

（1）易发沉的建筑材料。家具、用具不能使用。

（2）人员的个人卫生、洁净服、操作（动作）均遵循洁净规程，以减少发尘。

（3）提高工艺过程的机械化、自动化程度，这对高级别洁净室尤为重要。

4、把室内发生的尘粒有效、迅速地排除，其方法如下：

（1）利用经超净（高效过滤）的空调空气排除室内发尘，可以采用“稀释冲淡”或“活塞置换”的手段来排除室内的发尘。

（2）必须比常规空调有足够的风量和合理的气流组织来实现尘粒的排除。气流组织要考虑到室内工艺设备和发尘点的位置等实际情况；

由此可知，洁净室技术是由土建、工艺、空调净化、设备等方便共同配合才能达到要求的。